Базы данных


Журналы. Газеты. Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог книг
Патентная и нормативно-техническая документация
Краеведение
Журналы. Газеты. Статьи
КОЛЛЕКЦИИ
Область поиска
 Найдено в других БД:Краеведение (8)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Тимошков, Ю.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Тимошков Ю. В., Курмашев В. И., Тимошков В. Ю., Сакова А. А.
Заглавие : Формирование прецизионных 3D-микроструктур методом LIGA-like-технологии для компонентов МЭМС
Серия: Материаловедческие и технологические основы МНСТ
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 10. - С.40-43: 6 рис. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2014/10). - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 43 (2 назв.)
УДК : 621.3
ББК : 31.2
Предметные рубрики: Энергетика
Электротехника в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): 3d-микроструктуры--liga-like-технология--мэмс--компоненты мэмс--метод liga-like-технология--микроэлектромеханические системы--фоторезисты--элементы мэмс
Аннотация: Представлены результаты исследования технологических особенностей формирования элементов микроэлектромеханических систем методом LIGA-like-технологии.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)