Тюменская областная научная библиотека

Базы данных

Журналы. Газеты. Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог книг

Патентная и нормативно-техническая документация

Краеведение

Журналы. Газеты. Статьи

КОЛЛЕКЦИИ

Область поиска

Найдено в других БД:

Электронный каталог книг (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Шаповалов, В. И.$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Шаповалов, В. И.
Горячая мишень. Физико-химическая модель реактивного распыления / В. И. Шаповалов // Журнал технической физики. - 2019. - Т. 89, № 7. - С. 984-991. - Библиогр.: с. 990-991 (36 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

^a536.7

ББК 22.317

Рубрики:
Физика
Термодинамика и статистическая физика

Кл.слова (ненормированные): горячие мишени -- реактивное распыление -- физико-химические модели -- синтез пленок -- поверхностные химические реакции -- химическая кинетика -- уравнение изотермы ленгмюра -- ленгмюра изотермы уравнение -- уравнение аррениуса -- аррениуса уравнение -- титановые мишени
Аннотация: Получила развитие неизотермическая физико-химическая модель реактивного распыления. Новый вариант модели описывает распыление горячей металлической мишени в смеси аргона и одного реактивного газа. Синтез пленки на всех поверхностях вакуумной камеры задан в форме поверхностной химической реакции. Для математического описания реакции использован основной постулат химической кинетики с учетом уравнения изотермы Ленгмюра и уравнения Аррениуса в неизотермических условиях. Зависимость температуры мишени от плотности тока разряда определена по результатам измерения спектров разряда в ближнем ИК-диапазоне. Для аналитического описания модели предложена система из восьми алгебраических уравнений. С ее помощью выполнен анализ влияния плотности тока и расхода реактивного газа на процесс реактивного распыления горячей титановой мишени в смеси аргон + азот при плотности тока 25-600 A/m{2}. Установлено, что разогрев мишени смещает точки изменения режимов работы мишени в область меньших расходов азота и уменьшает ширину петли гистерезиса по сравнению с холодной мишенью. При этом влияние испарения мишени на процесс начинает проявляться при плотности тока более 400 A/m{2}.

Держатели документа:
ТОНБ

Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (08.08.2019г. Экз. 1 - ) (свободен)

Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)