Елшин, А. С. Зависимость оптимальных параметров фемтосекундного лазерного отжига пленок цирконата-титаната свинца от их толщины / А. С. Елшин, Д. А. Абдуллаев, Е. Д. Мишина // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 6. - С. 1118-1123 : 4 рис. - Библиогр. в конце ст. (19 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): лазерный отжиг -- отжиг пленок -- пленки цирконата-титаната свинца -- свинец -- титанат свинца -- фемтосекундный лазерный отжиг -- цирконат-титанат свинца Аннотация: Экспериментально исследована зависимость оптимальных параметров лазерного отжига (кристаллизации) от толщины сегнетоэлектрической пленки. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Абдуллаев, Д. А. Мишина, Е. Д. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (16.08.2016г. Экз. 1 - ) (свободен) |
И 75 Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивирующих слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов / Д. А. Абдуллаев [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 35-39. - Библиогр.: с. 39 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): ионно-лучевое травление -- реактивно-ионное плазменное травление -- планаризация микрометрового рельефа -- интегральные микросхемы -- технология анализа отказов Аннотация: Представлены результаты серии экспериментов по удалению пассивации СБИС с промежуточной планаризацией субмикрометрового рельефа методами ионно-лучевого травления в рамках технологии анализа отказов. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Абдуллаев, Д. А. Зайцев, А. А. Кельм, Е. А. Милованов, Р. А. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (10.12.2013г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Абдуллаев, Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния / Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 17-19 : 3 табл. - Библиогр.: с. 19 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Химия Химические элементы и их соединения Кл.слова (ненормированные): пхт -- нитрид кремния -- оксид кремния -- плазмохимическое травление -- селективное травление Аннотация: Представлены результаты серии экспериментов по определению параметров селективного плазмохимического травления нитрида кремния относительно оксида кремния. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Зайцев, А. А. (кандидат физико-математических наук) Кельм, Е. А. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (12.03.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Абдуллаев, Д. А. Изменение набора применяемых материалов при уменьшении топологических норм производства интегральных микросхем / Д. А. Абдуллаев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 32-38 : 7 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 37 (23 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): алюминиевые межсоединения -- диэлектрики -- интегральные микросхемы -- медные межсоединения -- микроэлектроника -- топологические нормы Аннотация: Описывается, как изменяется набор используемых материалов в производстве интегральных микросхем при переходе от топологических норм 180 нм к топологических нормам 32 и 22 нм. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (06.06.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Абдуллаев, Д. А. Реактивно-ионное травление пленок цирконата-титаната свинца : обзор / Д. А. Абдуллаев, Е. Н. Зубкова, К. А. Воротилов // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 1. - С. 19-26 : 2 рис., 3 табл. - Библиогр. в конце ст. (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): МЭМС-устройства -- реактивно-ионное травление -- сегнетоэлектрики -- сегнетоэлектрические устройства -- цирконат-титанат свинца Аннотация: Рассмотрены вопросы реактивно-ионного травления пленок цирконата-титаната свинца в процессах создания интегрированных сегнетоэлектрических устройств, в том числе пьезоэлектрических МЭМС-устройств. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Зубкова, Е. Н. Воротилов, К. А. (доктор технических наук) Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (21.04.2015г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Реактивно-ионное травление пленок цирконата-титаната свинца = Reactive-Ion Etching of the Lead Zirconate Titanate Films / Д. А. Абдуллаев [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2016. - Т. 18, № 12. - С. 721-729 : 2 рис., 3 табл. - Библиогр. в конце ст. (20 назв.). - Текст парал.: англ., рус. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Химия Строение органических соединений Кл.слова (ненормированные): ионное травление -- микромеханика -- реактивно-ионное травление -- реактивное травление -- травление пленок -- цирконат-титаната свинца Аннотация: Исследован процесс реактивно-ионного травления сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца в смесях различных газов для создания ячеек запоминающих устройств и устройств микромеханики. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Абдуллаев, Д. А. Воротилов, К. А. (доктор технических наук) Зубкова, Е. Н. Серегин, Д. С. (кандидат технических наук) Сигов, А. С. (доктор физико-математических наук) Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (27.12.2016г. Экз. 1 - ) (свободен) |