С 29 Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди / Р. А. Милованов [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 35-39. - Библиогр.: с. 32 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): анализ отказов -- системы межсоединений -- медь -- жидкохимические травления -- сухие травления -- диффузно-барьерные слои Аннотация: Об одном из этапов анализа отказов микросхем с системой межсоединений на основе меди. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Милованов, Р. А. Кельм, Е. А. Косичкин, О. А. Ляпунов, Н. А. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (10.12.2013г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Электрохимическое восстановление поврежденных контактных площадок кристаллов при анализе отказов современных интегральных схем / Д. Н. Зубов [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 38-40 : 6 рис. - Библиогр.: с. 40 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Химия Электрохимия Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- кристаллы -- медь -- серебро -- экспериментальные исследования -- электрохимическое восстановление Аннотация: Рассмотрены несколько типов повреждений контактных площадок, а также экспериментальные исследования по их восстановлению электрохимическим осаждением серебра и меди. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Зубов, Д. Н. Кельм, Е. А. Милованов, Р. А. Молодцова, Г. В. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (06.06.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Подходы к разделению кристаллов стековых сборок при анализе отказов многокристальных интегральных схем / Г. В. Молодцова [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 22-24 : 3 рис. - Библиогр.: с. 24 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Энергетика Детали и узлы электрических аппаратов Кл.слова (ненормированные): анализ отказов -- интегральные схемы -- многокристальные интегральные схемы -- разделение кристаллов -- стековые сборки Аннотация: В работе рассмотрены подходы к разделению кристаллов на основе длительного воздействия дымящей азотной кислоты и циклического изменения температуры образца. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Молодцова, Г. В. Милованов, Р. А. Зубов, Д. Н. Кельм, Е. А. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (08.08.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Милованов, Р. А. Структура ячеек энергонезависимой памяти типа EEPROM и FLASH / Р. А. Милованов, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 4. - С. 45-59 : 14 рис. - Библиогр.: с. 54 (31 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): EEPROM -- FLASH -- микросхемы памяти -- память -- структура ячеек памяти -- транзисторы -- энергонезависимая память -- ячейки памяти Аннотация: В статье осуществлена попытка классифицировать ячейки памяти EEPROM и FLASH по их конструктивным особенностям на основе данных различных производителей и результатов собственных исследований авторов. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Кельм, Е. А. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (05.05.2015г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Милованов, Р. А. Современные и перспективные ионные источники для систем с фокусированным ионным пучком = Next-Generation and Present-Day lon Sources for the Focused lon Beam Equipment / Р. А. Милованов, Е. В. Ерофеева // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 11. - С. 20-39 : 10 рис., табл. - Библиогр. в конце ст. (82 назв.). - Текст парал.: англ., рус. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): ФИП-системы -- ионные источники -- ионные пучки -- ионы -- источники ионов -- фокусированные ионные пучки Аннотация: В статье осуществлена попытка классифицировать современные и перспективные ионные источники для ФИП-систем по их конструктивным особенностями. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Ерофеева, Е. В. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (03.12.2015г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Конструкция и технология изготовления тестовых кристаллов с композитными проводниками на основе углеродных нанотрубок и металлов = Design and Fabrication Technology of Integrated Circuit with Test Structures Based on Metal Matrix - Carbon Nanotubes Composite Conductors / А. Н. Сауров [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2016. - Т. 18, № 10. - С. 628-635 : 2 рис. - Библиогр. в конце ст. (20 назв.). - Текст парал.: англ., рус. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Энергетика Детали и узлы электрических машин Кл.слова (ненормированные): СБИС -- интегральные схемы -- композитные проводники -- нанотрубки -- сверхбольшие интегральные схемы -- тестовые кристаллы -- углеродные нанотрубки Аннотация: Представлена конструкция и технология изготовления тестовых кристаллов, предназначенных для создания и исследований композитной металлизации СБИС с применением углеродных нанотрубок. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Сауров, А. Н. (член-корреспондент) Булярский, С. В. (доктор физико-математических наук) Кондратьев, П. К. Скворцов, А. А. (доктор физико-математических наук) Павлов, А. А. (кандидат технических наук) Милованов, Р. А. (кандидат технических наук) Кицюк, Е. П. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (27.10.2016г. Экз. 1 - ) (свободен) |