Яфаров, Р. К. Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 : 3 рис. - Библиогр. в конце ст. (7 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): ионно-физическое травление -- кремний -- кристаллография в целом -- морфологическая неустойчивость -- неустойчивость поверхности -- травление кристаллов Аннотация: Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (29.03.2016г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Шаныгин, В. Я. Наноморфологические характеристики поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ-плазменной обработке в условиях слабой адсорбции / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2013. - Т. 83, № 4. - С. 92-98. - Библиогр.: c. 98 ( назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремний -- свч-плазменная обработка поверхности -- плазменная обработка поверхности -- высокоионизованная плазма -- плазма -- электронный циклотронный резонанс -- газовые разряды -- наноморфология поверхности -- адсорбция Аннотация: Исследованы закономерности влияния режимов и химического состава высокоионизованной плазмы электронного циклотронного резонанса (ЭЦР) СВЧ газового разряда низкого давления на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100). Рассмотрены модельные механизмы процессов, обеспечивающих управление основными характеристическими параметрами наноморфологии кристаллов кремния при низкоэнергетичной СВЧ плазменной обработке в условиях слабой адсорбции с использованием химически активной и инертной газовых сред. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Яфаров, Р. К. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (05.06.2013г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Яфаров, Р. К. Кинетика структурирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85, № 6. - С. 61-68. - Библиогр.: c. 68 (5 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремний -- углеродные покрытия -- субмонослойные углеродные покрытия -- вакуумно-плазменное осаждение -- свч вакуумно-плазменное осаждение -- структурирование углеродных покрытий -- сканирующая атомно-силовая микроскопия -- электронная микроскопия -- самоорганизация доменов -- наноразмерные домены -- кремний-углеродные поверхностные фазы -- масковые покрытия Аннотация: С использованием методов сканирующих атомно-силовой и электронной микроскопии изучена кинетика самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кремнии (100) в СВЧ плазме паров этанола низкого давления. Установлены закономерности влияния температуры подложки и кинетической энергии углеродосодержащих ионов на механизм формирования и структурирования образующихся кремний-углеродных поверхностных фаз. Показано, что полученные наноразмерные углеродсодержащие домены могут быть использованы в качестве нелитографических масковых покрытий для получения с использованием селективного высокоанизoтропного плазмохимического травления пространственных низкоразмерных систем на монокристаллическом кремнии. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1) Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1) |