Яфаров, Р. К. Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 : 3 рис. - Библиогр. в конце ст. (7 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): ионно-физическое травление -- кремний -- кристаллография в целом -- морфологическая неустойчивость -- неустойчивость поверхности -- травление кристаллов Аннотация: Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (29.03.2016г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Шаныгин, В. Я. Наноморфологические характеристики поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ-плазменной обработке в условиях слабой адсорбции / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2013. - Т. 83, № 4. - С. 92-98. - Библиогр.: c. 98 ( назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремний -- свч-плазменная обработка поверхности -- плазменная обработка поверхности -- высокоионизованная плазма -- плазма -- электронный циклотронный резонанс -- газовые разряды -- наноморфология поверхности -- адсорбция Аннотация: Исследованы закономерности влияния режимов и химического состава высокоионизованной плазмы электронного циклотронного резонанса (ЭЦР) СВЧ газового разряда низкого давления на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100). Рассмотрены модельные механизмы процессов, обеспечивающих управление основными характеристическими параметрами наноморфологии кристаллов кремния при низкоэнергетичной СВЧ плазменной обработке в условиях слабой адсорбции с использованием химически активной и инертной газовых сред. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Яфаров, Р. К. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (05.06.2013г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Яфаров, Р. К. Влияние СВЧ плазменной микрообработки на электронные свойства поверхности кристаллов кремния (100) / Р. К. Яфаров, С. А. Климова // Журнал технической физики. - 2014. - Т. 84, № 3. - С. 103-107. - Библиогр.: c. 107 (6 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремний -- плазменная микрообработка -- свч плазменная микрообработка -- микрообработка поверхности -- плотность ненасыщенных поверхностных связей -- атомно-чистые поверхности -- модификация поверхности -- электронная структура поверхности Аннотация: Рассмотрены возможности активного формирования электронных свойств поверхности полупроводниковых кристаллов за счет изменения условий их поверхностной обработки. Исследованиями поперечного электронного транспорта в гетероструктурах на основе кристаллов кремния (100) и туннельно-тонкой пленки аморфного гидрогенезированного карбида кремния показано, что вид вольт-амперных характеристик таких структур определяется различной плотностью ненасыщенных поверхностных связей, которые образуются при получении атомно-чистой поверхности кремниевых кристаллов заданной ориентации с использованием высокоионизованной СВЧ плазменной микрообработки в различных плазмообразующих средах. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Климова, С. А. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (07.05.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Яфаров, Р. К. Кинетика структурирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85, № 6. - С. 61-68. - Библиогр.: c. 68 (5 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремний -- углеродные покрытия -- субмонослойные углеродные покрытия -- вакуумно-плазменное осаждение -- свч вакуумно-плазменное осаждение -- структурирование углеродных покрытий -- сканирующая атомно-силовая микроскопия -- электронная микроскопия -- самоорганизация доменов -- наноразмерные домены -- кремний-углеродные поверхностные фазы -- масковые покрытия Аннотация: С использованием методов сканирующих атомно-силовой и электронной микроскопии изучена кинетика самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кремнии (100) в СВЧ плазме паров этанола низкого давления. Установлены закономерности влияния температуры подложки и кинетической энергии углеродосодержащих ионов на механизм формирования и структурирования образующихся кремний-углеродных поверхностных фаз. Показано, что полученные наноразмерные углеродсодержащие домены могут быть использованы в качестве нелитографических масковых покрытий для получения с использованием селективного высокоанизoтропного плазмохимического травления пространственных низкоразмерных систем на монокристаллическом кремнии. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1) Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1) |
Яфаров, Р. К. Влияние электронного насыщения таммовских уровней на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния / Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2017. - Т. 87, № 10. - С. 1578-1584. - Библиогр.: c. 1584 (7 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремний -- автоэмиссия -- электронное насыщение таммовских уровней -- атомно-чистые поверхности -- пассивация поверхностных атомов -- полевая эмиссия электронов -- автоэмиссионные токи -- модификации поверхностей -- плазмохимическая модификация поверхности Аннотация: Показано влияние плазмохимической модификации морфологии и состава поверхностной фазы на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (24.11.2017г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Яфаров, Р. К. Ионная модификация автоэмиссионных свойств алмазографитовых пленочных структур / Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2018. - Т. 87, № 1. - С. 127-133. - Библиогр.: c. 133 (11 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): аламазографитовые пленки -- нанокомпозитные пленки -- ионное облучение -- автоэмиссионные токи Аннотация: Изучены закономерности изменения структурно-фазовых, морфологических и автоэмиссионных характеристик нанокомпозитных алмазографитовых пленочных структур, полученных в микроволновой плазме паров этанола, в зависимости от дозы облучении ионами азота с энергией 20 keV. Установлено, что при малых дозах облучения морфологические параметры алмазографитовых структур практически не отличаются от параметров необлученных образцов. В отличие от этого автоэмиссионные свойства претерпевают существенные изменения. Причем повышение максимальных плотностей автоэмиссионных токов достигается при повышении порогов возбуждения автоэмиссии. Обнаружены оптимальные дозы ионной имплантации азота, при которых максимальные плотности автоэмиссионных токов возрастают по сравнению с необлученными структурами более, чем в 5 раз. Рассмотрены физико-химические механизмы, ответственные за модификацию поверхностных и приповерхностных свойств алмазографитовых структур в зависимости от дозы ионного облучения. Держатели документа: ТОНБ Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Яфаров, Р. К. Ионная модификация автоэмиссионных свойств алмазографитовых пленочных структур / Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2018. - Т. 88, № 1. - С. 127-133. - Библиогр.: c. 133 (11 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): алмазографитовые пленки -- нанокомпозитные пленки -- ионное облучение -- автоэмиссионные токи Аннотация: Изучены закономерности изменения структурно-фазовых, морфологических и автоэмиссионных характеристик нанокомпозитных алмазографитовых пленочных структур, полученных в микроволновой плазме паров этанола, в зависимости от дозы облучении ионами азота с энергией 20 keV. Установлено, что при малых дозах облучения морфологические параметры алмазографитовых структур практически не отличаются от параметров необлученных образцов. В отличие от этого автоэмиссионные свойства претерпевают существенные изменения. Причем повышение максимальных плотностей автоэмиссионных токов достигается при повышении порогов возбуждения автоэмиссии. Обнаружены оптимальные дозы ионной имплантации азота, при которых максимальные плотности автоэмиссионных токов возрастают по сравнению с необлученными структурами более, чем в 5 раз. Рассмотрены физико-химические механизмы, ответственные за модификацию поверхностных и приповерхностных свойств алмазографитовых структур в зависимости от дозы ионного облучения. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (26.01.2018г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Давидович, М. В. Автоэмиссионная шахматная структура на основе алмазографитовых кластеров / М. В. Давидович, Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2018. - Т. 88, № 2. - С. 283-293. - Библиогр.: c. 292-293 (25 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): автоэмиссионные структуры -- эмиссионные структуры -- эмиссия -- аламазографитовые кластеры -- нанокластеры -- триодные структуры -- шахматные микроструктуры -- туннельный ток Аннотация: Предложены и рассчитаны вакуумная автоэмиссионная триодная структура с напыленными в шахматном порядке на проводящую подложку (катод) высокоомными полупроводниковыми или диэлектрическими прямоугольными параллелепипедами микронных размеров, а также структура с наноразмерной пленкой на катоде из напыленных алмазографитовых кластеров. Теоретически и экспериментально показано, что рассмотренные структуры обладают существенно большими эмиссионными способностями по сравнению с непокрытым катодом. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Яфаров, Р. К. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (12.03.2018г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Яфаров, Р. К. Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием / Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2019. - Т. 89, № 6. - С. 952-957. - Библиогр.: с. 957 (9 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): туннельная эмиссия электронов -- наноструктурированные кремниевые матрицы -- фтор-углеродные покрытия -- кремний -- поверхностно структурированные кремниевые пластины -- травление -- фторуглеродная плазма -- углеродные масочные покрытия -- поверхностное структурирование -- токи автоэмисии -- автоэмиссия -- кремниевые катодные матрицы Аннотация: Исследованы закономерности изменений морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости, полученных с использованием травления во фторуглеродной плазме и осаждения субнаноразмерных островковых углеродных масочных покрытий. Показано, что поверхностное структурирование с применением фторуглеродной плазмы позволяет получать заданные токи автоэмиссии при различных напряженностях внешних электрических полей. Рассмотрены физико-химические модели механизмов автоэмиссии и разрушения поверхностно модифицированных многоострийных кремниевых катодных матриц. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (03.07.2019г. Экз. 1 - ) (свободен) |
Давидович, М. В. Импульсные и статические автоэмиссионные ВАХ-углеродных нанокластерных структур : эксперимент и его интерпретация / М. В. Давидович, Р. К. Яфаров // Журнал технической физики. - 2019. - Т. 89, № 8. - С. 1282-1293. - Библиогр.: с. 1291-1293 (82 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): нанокластеры -- углеродные нанокластеры -- вольт-амперные характеристики -- автоэмиссия -- размерные эффекты -- квантово-размерные эффекты -- эффект проникновения поля -- эффект гистерезиса -- алмазографитовые пленки -- туннелирование -- резонансное туннелирование -- пористые структуры -- квантово-размерные пленки Аннотация: Рассмотрены автоэмиссионные свойства углеродных нанокластерных структур и пленок на их основе, приведены экспериментальные данные, в том числе ВАХ, при статическом и импульсном режимах. Проведен анализ размерных эффектов, эффекта проникновения поля, эффекта гистерезиса. Даны их теоретические объяснения. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Яфаров, Р. К. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (10.09.2019г. Экз. 1 - ) (свободен) |