Нанокомпозитные вакумно-дуговые покрытия TiC/a-C:H, полученные с дополнительной ионизацией ацетилена / И. Ш. Трахтенберг [и др.] // Физика металлов и металловедение. - 2014. - Т. 115, № 7. - С. 771-777. - Библиогр.: 777 (14 назв. )
. - ISSN 0015-3230
ББК 34.51/59
Рубрики:
Машиностроение
Обработка металлов
Кл.слова (ненормированные): вакуумно-дуговое напыление -- электронные пучки -- ионизация ацетилена -- нанокомпозитные tic/a-c: h-покрытия -- нанокристаллический карбид титана -- наноструктуры
Аннотация: Исследованы состав, структура и свойства TiC/a-C: H-покрытий, полученных совместным вакуумно-дуговым осаждением титана и углерода в аргон-ацетиленовой среде низкого давления, дополнительно активируемой воздействием низкоэнергетического (сотни эВ) электронного пучка. Создание условий, при которых разложение ацетилена обеспечивается как ионизацией и диссоциацией молекул электронным ударом, так и их перезарядкой на ионах титана и аргона с последующей диссоциацией, должно способствовать наиболее полному разложению ацетилена в широком диапазоне давлений. С увеличением давления ацетилена изменяется структура нанокомпозитного покрытия: уменьшается размер кристаллитов TiC и увеличивается доля поверхностей раздела, или доля областей с разупорядоченной (аморфной) структурой. Подача напряжения смещения приводит к увеличению размеров нанокристаллитов TiC. Покрытия с максимальной микротвердостью 40 ГПа были получены без воздействия электронного пучка при давлении ацетилена (0. 050. 08) Па и соотношении атомов Ti и C в покрытии 0. 9 : 1. 1.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Трахтенберг, И. Ш.
Гаврилов, Н. В.
Емлин, Д. Р.
Плотников, С. А.
Владимиров, А. Б.
Волкова, Е. Г.
Рубштейн, А. П.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (18.08.2014г. Экз. 1 - ) (свободен)
|