Дмитриевский, А. А.
    Бета-индуцированное уменьшение содержания фаз кремния Si-II, Si-XII, Si-III и alpha-Si, образующихся под индентором / А. А. Дмитриевский, Н. Ю. Ефремова, Д. Г. Гусева // Физика твердого тела. - 2017. - Т. 59, вып. 11. - С. 2235-2239 : 3 рис. - Библиогр. в конце ст. (16 назв.) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.379

Рубрики:
Физика
Физика полупроводников и диэлектриков

Кл.слова (ненормированные): si -- берковича пирамида -- инденторы -- кремний -- монокристаллы si -- пирамида берковича -- фазы кремния
Аннотация: Проведена количественная оценка объемов метастабильных фаз кремния Si-II, Si-XII, Si-III и alpha-Si в локально деформированной (пирамида Берковича) области необлученных и предварительно облученных монокристаллов Si.

Держатели документа:
ТОНБ

Доп. точки доступа:
Ефремова, Н. Ю.
Гусева, Д. Г.


Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (20.12.2017г. Экз. 1 - ) (свободен)